Влияние имплантации ионов кремния на анодное поведение пленок алюминия

Аннотация

Карежев Х.М., Сохроков А.М.

Дата поступления статьи: 18.11.2020

Приводятся основные результаты исследований анодного поведения и химического состава поверхностного слоя пленки алюминия до и после имплантации ионов кремния (20 кэВ), проведенных с использованием метода измерений потенциостатических поляризационных кривых. Показано уменьшение токов анодной поляризации и расширение области пассивации в зависимости от дозы внедряемых ионов, обусловленное формированием окисных соединений с участием имплантированной примеси кремния.

Ключевые слова: имплантация ионов, пленки, алюминий, поляризационные кривые, потенциостат, анодное поведение, электронные спектры Оже, электролит, ионы кремния

01.04.10 - Физика полупроводников

05.13.06 - Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)

.