ivdon3@bk.ru
В статье рассматриваются вопросы формирования тонких пленок в технологии изготовления микроканальных пластин (МКП). Особое внимание уделено физическим и химическим методам воздействия на поверхность каналов МКП. Рассмотрены особенности поверхностной проводимости МКП на воздухе.
Ключевые слова: Микроканальная пластина, тонкие пленки, резистивно-эмиссионный слой, фотоэлектронная обработка, ток проводимости МКП на воздухе.